湖北日报全媒记者 方琳 通讯员 高翔 实习生 尹秀元
华中科技大学陈学东院士团队成果成功转化，国内首套超精密主动减振器在光谷面世。从喻家山到光谷，短短十几公里的路程，陈学东和他的团队成员走了足足20年。
减振器是高端半导体制造设备的“基石”。越高性能的减振器，越能更好地减少外部振动和冲击，从而提升半导体制造设备高精度加工能力。然而由于无法突破技术瓶颈，我国减振器长期依赖进口。2002年起，从事机械动力学设计与控制研究的陈学东教授，潜心在这一领域攻关。
减振器有大大小小的零件上百种，每一个零件都决定成败，每一个零件都需要自主研发，经历材料准备、组装、测试等环节，经历年复一年、日复一日的调整与改进。团队终于将地基传递至设备的振动降低2个量级以上，攻克超精密主动减振器“卡脖子”难题，发明的准零刚度减振器填补了国产高端主动减振器技术空白，并逐步提升到世界领先水平，实现国产化替代和配套生产。
“与国际上能够做最高端产品的国家相比，我们的总体技术测量指标和他们是相当的，某些单元的技术指标还好于他们，能够满足目前国际上最先进的半导体制造设备的性能要求。”陈学东表示。
团队成员、华科大机械科学与工程学院教授姜伟打了个形象的比喻：“不管是公斤级的还是几十吨的设备，我们都能做到让它们在空中完全自由漂浮、但又特别稳的状态，怎么碰它都不会动。”
从2022年起，武汉格蓝若智能技术股份有限公司就与陈学东团队紧密联系，希望尽快将成果落地转化。在华科大和武汉东湖新技术开发区的力促下，武汉格蓝若智能技术股份有限公司出资8000万，购买技术，并与团队共同成立专门承载此技术成果的武汉格蓝若精密技术有限公司，基于前期合作研发成果，公司上月一成立就推出了20余款超精密主动减振器。
“我们平时在和企业的接触中发现，企业很希望产品尽快做出来、成熟化，但我们在高校很难尽快实现。此次合作，我们深切感受到通过校企合作把技术真正落地的重要性，产品从零部件级的品质控制到最后的制造装调、检测产率都得到了大幅度的提升。”姜伟对此深有感触。
武汉格蓝若智能技术股份有限公司副总经理、格蓝若精密技术有限公司总经理任波表示，对于企业来说，高精尖专业技术是最稀缺和最渴求的，科技成果要快速产业化，必须校企合作助力。“我们之前就和华科大有非常好的合作基础，也取得过非常好的市场业绩。”此次合作对公司来说就是从0到1的开始，接下来还要尽快把1变成n，实现把知识产权工程化、产业化。
除了超精密主动减振系统，陈学东院士团队还在智能人形机器人技术领域取得了重大突破。在当日的活动上，格蓝若作为湖北省人形机器人整机技术攻关“链主”，展示了人形机器人样机产品。
该人形机器人主要面向劳动作业型场景，身高180cm，体重100kg，自由度31+2，移动速度＞5km/h，负重能力＞40kg，最大关节扭矩380N·m。具备高通用性、高机动性、高负载能力、具身智能等特点。
华科大副校长于俊清表示，此次合作不仅将推动技术成果快速转化为市场竞争力，也将进一步促进学校科研力量与产业需求的深度融合，为培养更多具有创新能力的高端人才创造条件。学校将以此次签约为契机，深化校企合作，共同探索科技成果转化的新路径。
